问些问题 发表于 2012-5-25 13:04

求一个英语词

本帖最后由 问些问题 于 2012-5-25 13:05 编辑

一般用SEM 往要需要检测的物体上 弄一个涂层，以进行后续的检查，

这个涂层的过程 的英语词汇叫什么啊。COATING貌似不行吧。记得曾经某处看过这个词汇，好像是S 开头的。但是确实忘记了

有知道的高人，给我指点下吧。。

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找到一个词汇SPUTTERING? 对不？

黄金彪 发表于 2012-5-25 14:12

如果试样不导电，sem之前，要一般溅射sputter一层碳，假如碳会影响之后的edx，则sputter金，溅射sputter是一般方法，便宜，快。也有用evaporation的，因为sputter的粒度一般在3-5纳米，而且对实验损伤比较大，evap的粒度更小，但evap慢
如果实验做过了，问管电镜的人，肯定他们知道

问些问题 发表于 2012-5-25 14:14

黄金彪 发表于 2012-5-25 14:12 static/image/common/back.gif
如果试样不导电，sem之前，要一般溅射sputter一层碳，假如碳会影响之后的edx，则sputter金，溅射sputter是一 ...

多谢指点，偶用的是金。。实验室做过了，都是官仪器的人做。所以有些词汇自己不太清楚。多谢你的回复
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